凈化工程潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在符合加工工藝的條件下，應(yīng)先應(yīng)該考慮人的感受。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高，達(dá)到溫濕度要求。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以要有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜高于25度。
　　濕度過高會(huì)產(chǎn)生的問題也很多。相對(duì)濕度大于55%時(shí)，凈化工程冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起許多事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。凈化工程要控制溫濕度具體有什么措施？
　　然而對(duì)于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
　　1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
　　2.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。
　　3.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
　　壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的不同縫隙時(shí)的阻力。
　　對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)標(biāo)準(zhǔn)，而不直接用速度的標(biāo)注，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求：
　　1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減快，擴(kuò)散角度大。
　　2.吹過水平面的氣流速度（例如側(cè)送時(shí)回流速度）不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0.2m/s。
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